|
Источники серии IBCS
Магнетронные распылительные системы (МРС)
Мембранные безмасляные насосы серии МВНК
Турбомолекулярные насосы Turbo-V Navigator
Источники серии IBCS (Фирма "Изовак", г. Минск, Беларусь) с различными конфигурациями ионного пучка позволяют проводить ионно-лучевую очистку практически любых, в том числе крупногабаритных деталей. Технология ионно-лучевой очистки применяется в оптике и электронике для финишной обработки поверхностей подложки пучком ускоренных ионов с энергией до 1500 эВ. Методика обеспечивает очистку от молекулярных частиц, адсорбированных газов, полимерных ферментов, паров воды, а также способствует атомарной активации поверхностных связей подложки непосредственно перед нанесением тонкопленочного покрытия. Применение ионно-лучевой очистки гарантирует более высокую степень адгезии по сравнению с плазменной, что в итоге обеспечивает длительную и надежную эксплуатацию покрытий. Приборы обеспечивают высокую равномерность и скорость очистки, возможность обработки под различным углом подложек из металла, полупроводников, диэлектриков и полимеров. Размеры источников IBCS составляют от 140 до 3500 мм, что позволяет монтировать их в любых вакуумных камерах поточного и периодического действия.
Магнетронные распылительные системы (МРС) ("Прикладная Электроника", г. Томск) на постоянном или импульсном токе используются для нанесения практически на любой вид материалов функциональных и декоративных покрытий из металлов, сплавов, оксидов и нитридов. В серии модицификаций от производителя можно выделить несбалансированные МРС с вращающейся мишенью. В протяженных магнетронах с вращающейся цилиндрической мишенью происходит непрерывное вращение последней относительно неподвижной магнитной системы. За счет этого достигается высокая степень использования материала мишени - до 70% против обычных 25%. Это очень важно в случае распыления дорогих материалов, например, драгоценных металлов. Магнитное поле в несбалансированных МРС может создаваться как постоянными магнитами, так и магнитными катушками. При этом катушки позволяют регулировать степень ионного воздействия на растущую пленку непосредственно во время нанесения. Повышение интенсивности ионной бомбардировки растущей пленки позволяет влиять на ее характеристики, в частности, создавать метастабильные фазы, формировать нанокомпозитные структуры. Выбор магнетронного распылителя зависит от конкретной технологической задачи.
Мембранные безмасляные насосы серии МВНК (Компания "Мегатехника", г. Санкт-Петербург) используются для откачки воздуха и паров при давлении ниже атмосферного. Перемещение газа в них происходит за счет изменения объема рабочей камеры в результате деформации упругой мембраны. Для достижения большей производительности и минимального значения остаточного давления приходилось изготавливать крупногабаритные мембраны, что соответственным образом влияло на размеры всего аппарата. В новой разработке представлена конструкция, не имеющая трущихся деталей и не требующая обработки смазочными веществами. Единственное требование - мембрана должна быть выполнена из химически неагрессивного износо- и коррозионностойкого материала: нержавеющей стали, пластика или алюминия. Мембранные деформации новых насосов МВНК позволяют достигать производительности от 0,3 до 16 куб. м/ч и остаточного давления до 2 мм рт. ст. Являясь универсальным оборудованием практически для любого производства, насосы МВНК экологичны: как все вакуумные устройства, они работают на сжатом воздухе и не загрязняют окружающую среду смазочными веществами.
Турбомолекулярные насосы Turbo-V Navigator (Компания Varian) относятся к серии последнего поколения. При скорости откачки от 70 до 6000 л/с приборы отличаются компактной конструкцией, которая не требует смазки и техобслуживания. В новых насосах используются преимущественно комбинированные шарикоподшипники с шариками из нитрида кремния с консистентной смазкой, что позволяет отнести их к сухим средствам откачки, поскольку давление насыщенных паров такой смазки незначительно. Насосы Turbo-V Navigator работают в любой ориентации и обычно с воздушным охлаждением. Серию характеризует простота в использовании и полный микропроцессорный контроль всех параметров посредством встроенного блока управления. Прочный ротор и надежная электроника с датчиками защиты позволяют использовать аппараты даже в цеховых условиях. Турбомолекулярные насосы широко применяются для получения высокого и сверхвысокого вакуума в электронной промышленности, научных исследованиях, установках имитации космических условий, напылительных установках и других отраслях.
Обзор подготовила Гафарова И. |
