|
Магнетронные распылительные системы (МРС) на постоянном или импульсном токе (Компания "Прикладная Электроника", г. Томск) разработаны в нескольких модификациях.
Технология вакуумного напыления позволяет наносить функциональные и декоративные покрытия из металлов, сплавов, оксидов и нитридов практически на любой вид материалов. В протяженных магнетронах с вращающейся цилиндрической мишенью происходит непрерывное вращение последней относительно неподвижной магнитной системы. За счет этого достигается высокая степень использования материала мишени, до 70%. Магнитное поле в несбалансированных МРС может создаваться как постоянными магнитами, так и магнитными катушками. При этом катушки позволяют регулировать степень ионного воздействия на растущую пленку непосредственно во время нанесения. Повышение интенсивности ионной бомбардировки растущей пленки влиять на ее характеристики, создает метастабильные фазы, формирует нанокомпозитные структуры.
Выбор магнетронного распылителя зависит от конкретной производственной задачи. МРС с вращающимся катодом используются в высокопроизводительных вакуумных установках при работе с подложками большой площади. Конструктивно вращающийся магнетрон представляет собой трубу, выполненную из распыляемого металла диаметром 60-120 мм и длиной до 3 м. Внутри катода расположена магнитная система на основе кобальтовых магнитов и каналы для протока охлаждающей воды. Время непрерывной работы такого магнетрона может достигать 150 ч. Магнетронные распылительные системы с дисковым катодом являются наиболее распространенными, хотя область их применения ограничивается лабораторными исследованиями и нанесением покрытий на небольшие подложки. Небольшие габариты, малая мощность, простота обращения делают их чрезвычайно удобными на стадии разработки технологий. Дисковые магнетроны могут помещаться внутри вакуумных камер, в этом случае их можно достаточно свободно перемещать внутри камеры и изменять расстояние между мишенью и подложкой. Однако непосредственно внутри вакуумного объема необходимо использовать диэлектрические трубопроводы охлаждения. Сбалансированные и несбалансированные дисковые магнетроны могут также иметь внешнее по отношению к вакуумной камере фланцевое крепление. Это позволяет упростить конструкцию и легко изменять такой параметр, как степень сбалансированности магнитной системы.
Протяженные магнетроны с планарным прямоугольным катодом используются для нанесения покрытий на крупногабаритные детали - архитектурные стекла, рулонные материалы, когда высоки требования к однородности толщины наносимых покрытий на всей площади подложки. Протяженные планарные МРС могут иметь три конфигурации магнитного поля и, соответственно, либо сбалансированный магнетрон, либо несбалансированный магнетрон с внутренней разбалансировкой.
Мембранные безмасляные насосы серии МВНК (Компания "Мегатехника", г. Санкт-Петербург) используются для откачки воздуха и паров при давлении ниже атмосферного. Вакуумные насосы широко применяются во многих отраслях промышленности, в том числе полупроводниковой и электронной, а также в металлургии, производстве тонких пленок, в установках нанесения вакуумных покрытий и термоядерного синтеза и в других высокотехнологичных областях, где требуется чистый вакуум.
Перемещение газа в аппаратах происходит за счет изменения объема рабочей камеры в результате деформации упругой мембраны. Для достижения большей производительности и минимального значения остаточного давления приходилось изготавливать крупногабаритные мембраны, что соответственным образом влияло на размеры всего аппарата. Новая конструкция не имеет трущихся деталей и не требует обработки смазочными веществами при условии, что мембрана выполнена из химически неагрессивного износо- и коррозионностойкого материала: нержавеющей стали, пластика или алюминия. Мембранные деформации новых насосов МВНК позволяют достигать производительности от 0,3 до 16 куб. м/ч и остаточного давления до 2 мм рт. ст.
Являясь универсальным оборудованием практически для любого производства, насосы МВНК обеспечивают отвечающую требованиям сегодняшнего дня экологическую чистоту: как все вакуумные устройства, они работают на сжатом воздухе и не загрязняют окружающую среду смазочными веществами.
|
